六氟乙烷
详情介绍
名 称：六氟乙烷
CAS号：76-16-4
纯 度：≥99.999%（5N）/ ≥99.9999%（6N）
分子式： C₂F₆
规 格：规格均可定制
简介：又称 全氟乙烷、R116，是半导体与超低温制冷领域的核心含氟特气。
主要用途包括：
半导体干法蚀刻：用于 SiO₂、SiNₓ、磷硅玻璃 等介质层刻蚀，侧壁均匀、选择比高，优于 CF₄。
CVD 腔体清洁：高效去除反应腔内壁聚合物残留。
超低温制冷剂：深冷设备、超导、军工制冷；是 R508A/B 混合冷媒的主组分。
其他：电子清洗、光纤制造、绝缘气体、检漏示踪。
