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GB/T 32386-2015

名  称:六氟化钨
CAS号:7783-82-6
纯  度:≥99.999%(5N)/ ≥99.9999%(6N)
分子式: WF₆

规  格:规格均可定制

简介:是半导体行业至关重要的超高纯电子特种气体,常温下为无色、剧毒、强腐蚀性气体,是已知密度最大的气体之一。

 

主要用途包括:

芯片行业:WF₆作为钨源,用于 DRAM、3D NAND、先进逻辑芯片制造。

其他应用:制备二硅化钨(WSi₂) 等超导 / 导电材料,用作强氟化剂、有机合成催化剂。

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