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GB/T 31058-2014

名  称:四氟化硅
CAS号:7783-61-1
纯  度:≥99.999%(5N)/ ≥99.9999%(6N)
分子式: SiF₄

规  格:规格均可定制

简介:是半导体与电子工业关键的超高纯电子特种气体,无色、有刺激性气味,强吸湿性,在潮湿空气中易发烟,兼具毒性与腐蚀性。

 

主要用途包括:

半导体和集成电路:用于等离子蚀刻剂,P 型掺杂剂,制备多晶硅、外延层,及高纯石英玻璃、硅基材料制备。

化工建材行业:用于制备氟硅酸、氟化铅等氟化物,及水泥、人造大理石硬化剂。

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